微量氧的測定分析方法依據不同的工作原理大致分為以下幾類: 比色法、黃磷發光法、電化學法、濃差電池法、氣相色譜法等。氣相色譜法包括: 熱傳導檢測器、氦離子化檢測器、氬離子化檢測器、放電離子化檢測器、質譜檢測器、超聲波檢測器和氧化鋯檢測器。

　　1 氣體中微量氧分析方法

　　1. 1 比色法[2]

　　氣體中的氧與無色的一價銅氨絡離子定量反應，生成藍色的二價銅氨絡離子，其反應式為：

[Cu2( NH3)4]Cl2+ 2NH4OH + 2NH4Cl + O2→2[Cu( NH3)4]Cl2+ 3H2O

         在密閉的分析器中，樣品氣體中的氧與一定量的一價無色銅氨溶液定量反應，將所生成的二價藍色銅氨溶液與標準色階進行目視比色。比色所選定的標準色階相當的氧的體積數與樣品氣體的體積數之比即為氧在樣品氣體中的濃度。該方法適用于氫、氮、氬、氦、氖、氪、氙、甲烷以及其他不與一價銅氨絡離子或氫氣發生反應的任何氣體中氧的測定，測定范圍為 ( 0. 5 ～1000) ×10- 6。

　　比色法應用范圍廣，為實驗室*檢測設備，儀器配置所需成本低，可攜帶至現場采樣，但試驗方法較繁瑣，分析效率低。由于此法操作繁瑣、標定周期短，逐漸被別的分析方法所替代。

　　1. 2 黃磷發光法

　　本法是利用黃磷與氧反應發光的原理[3]。光電轉換裝置將發光強度轉變為電流，在一定范圍內，電流與氧濃度成一定的函數關系，由此測定氣體中氧的含量。測定范圍為 ( 0. 3 ～10) ×10- 6。由于此法測氧儀維護復雜，黃磷會自燃，更換黃磷危險，24 h 需校準，而且黃磷的毒性大，現很少應用。

　　1. 3 電化學法

　　將被測組分以適當形式置于電化學反應器—化學電池中進行檢出和測定的各種類型的方法。例如原電池法、燃料電池法及赫茲電池法[4]。燃料電池式氧分析儀和赫茲電池式氧分析儀適用于高純氣體及電子工業用氣體中微量氧含量的檢測，并且赫茲電池式氧分析儀對酸性氣體成分有抗干擾性能。另外，如需測定高純氣體中 10- 6～10- 9量級 O2時，則赫茲電池式氧分析儀更有獨到之處，而其他氧分析儀則不能滿足其要求，而對于樣氣中含有微量酸性氣體的情況，只有赫茲電池式氧分析儀才能排除其干擾，防止傳感器中毒，給出準確的分析數據。

　　該法既適用于氮氣、氫氣、氦氣以及其他不與堿性電解液和電極發生反應的氣體中微量氧的測定，也適用于二氧化碳氣以及含二氧化碳的混合氣等酸性氣體中微量氧的測定。電化學法需要用標準氣定期校準，其中干式 ( 即燃料電池式) 便于攜帶至現場檢測。

1. 4 濃差電池法

　　氧化鋯是一種固體電解質，常溫下為單斜系晶體，當加入一定數量的氧化鈣或氧化釔，并經過高溫焙燒形成置換固體后，其晶體就穩定為螢石型的立方晶體，當溫度達到數百度時，就變成良好的氧離子導電體。氧化鋯氧分析儀就是根據這一特點利用高溫濃差電池[5]來測量混合氣體中氧含量的，當氧化鋯被加熱到一定溫度時，氧化鋯晶體變成導氧體，氧離子的遷移形成電流，含氧量的變化與氧離子遷移作用產生電流變化，它們之間有一確定的計算關系式，因此通過測量電流的值就可計算出含氧量。

　　氧化鋯濃差電池法需要用標準氣體來校對，適用于工廠在線測定。氧化鋯式氧分析儀在測定含量小于 10 ×10- 6O2含量時，會受到氣體中含有微量還原性氣體成分的干擾，數據偏差過大。

　　對于氫、氦、氮、氬等色譜儀上與氧雜質分離度較小的氣體，為避免本地氣對雜質的干擾，一般采用電化學法直接檢測微量氧含量。目前大量新型的氧分析儀由于具有靈敏度高、操作簡便、分析速度快等優勢，已成為微量氧分析的主流，廣泛用于工藝控制和質量監測。表1 比較了不同氧分析儀性能。

1. 5 氣相色譜法

　　以氣體作為流動相的色譜法，在分離分析方面有以下優點: ( 1) 高靈敏度。可作為超純氣體痕量雜質分析和空氣中微量毒物的分析。 ( 2) 高選擇性。可有效分離性質極為相近的各種同分異構體和各種同位素。 ( 3) 高效能。可把組分復雜的樣品分離成單組分。 ( 4) 速度快。一般分析只需幾分鐘可完成，有利于指導和控制生產。 ( 5) 應用范圍廣。既可分析低含量的氣體，亦可分析高含量的氣體，可不受組分含量的限制。 ( 6) 所需試樣量少，一般氣體只需用幾毫升。

　　氣相色譜法包括: 熱傳導檢測器 ( TCD) 、氧化鋯檢測器 ( ZD) 、離子遷移 ( IMD) 、氦離子化檢測器 ( HID) 、氬離子化檢測器 ( AID) 、氦放電離 子 化 檢 測 器 ( DID ) 、 電 子 捕 獲 檢 測 器( ECD)[6]、質譜檢測器[7]( MSD) 、超聲波檢測器等。氣相色譜法既可用于低壓氣體管道或液體罐的采樣后實驗室檢測，又可用于高壓瓶裝氣體的直接抽樣測定和現場攜帶采樣檢測，檢測所需氣量較小，而其它的氧含量測定方法則用氣量較大。表 2總結了工業產品生產許可證申證氣體單元中微量氧檢測方法及檢測限。

　　從表 2 可以看出，氦離子化或氦放電離子化氣相色譜法的檢測靈敏度較高，特別適用于高純氣體及電子氣體中微量氧的檢測。近修訂的電子工業用氣體國家標準中微量氧的分析大都采用氦離子化或氦放電離子化氣相色譜法，這兩種檢測器性能比較: 均能檢測至 ng/g 級的通用性檢測器[9]，但氦離子化需要氚源作為激發能源，而氚因半衰期的影響，能量隨時間逐漸下降，使儀器的靈敏度降低，且易造成污染，所以目前大多數氣體廠家將 DID替代 HID。

　　2 微量氧分析注意事項

　　在進行微量氧分析時，還必須注意以下事項[8]:

   　1. 泄漏。任何接頭、焊點、閥門等處必須嚴格檢漏，否則，將會導致空氣中的氧反滲到管路及儀器中，從而使分析結果偏高。因為氣體系統在基本上不泄漏的情況下會出現反滲透現象，如果系統存在微小泄漏，對于氣體中微量雜質分析的影響就更大了，所以保證氣體系統高度密封性是非常重要的[9]。

　　2. 管道材質的選擇。管道材質及表面粗糙也會影響被測氣體中氧含量的變化。在分析中，通常要選用不銹鋼管，對于超痕量的分析，則必須用內拋光過的不銹鋼管，禁止使用橡膠管和塑料管。

　　3. 氣路系統的簡化及潔凈。微量氧分析必須有效排除氣路上的各種管件、閥門、表頭中的死角對被測樣品造成的污染。